אורך Diffusion הם פרמטרים קריטיים בייצור Semiconductor, המשפיע על ביצועי המכשיר ואמינות. Accurate Modeling ופתרון עבור אורכו אלה מסייע אופטימיזציה של תהליכי ייצור ולשפר את מאפייני המכשיר.

הבנת אורך Diffusion

אורך Diffusion מתייחס למרחק הממוצע חלקיק, כגון אטום אי-אלימות, נוסע בתוך חומר לפני שהוא נלכד או ריבאונים. במוליכים למחצה, מדידה זו משפיעה על מחיקת פרופילים ומעמקי צומת.

מודלים מתמטיים

מודלים בדרך כלל כרוכים בפתרון משוואה דיפוזיה, המתארת כיצד ריכוזי נחיתות משתנים עם הזמן והמרחב.

(ב) ⁇ C/ ⁇ t=D ⁇ 2CIRLT 1

(ב) ב[[1924]], [[1924]]]], [[1924]]]]]], [[1924]]]], [[1924]]]]]], [[1924]]]]]]]], [[1924]]]]]]]], [[1924]]]]]]]]]], [[1924]]]]]]]]]]]]]], [[1924]]]]]]]]]]]]]]]]]], [[1924]]]]]]]], [[1924]]]]]], [[1924]]]]]], [[1924]]]]]]]]]]]]]]]]]]]]]]]]]]]], [[1924]]]]]], [[1924]]]]]]]]]], [[1924]], [[1924]]]]]]]]]]]]]]]]]]]]]]]]]]]]]]]]]]]]]]]]]]]]]]]]]]]]]], [[1924]]]]]]]], [[1924]], [[1924]], [[1924]], [[1924]], [[1924]]]]]], [[1924]]]]]]]]]]]]]], [[1924]], [[1924]], [[1924]], [[1924]], [[1924]]]]]]]]]]]]]]]], [[19

המונחים: Diffusion longs

ניתן להעריך את אורך הפיזור (ראה:0) ל-LFLT:1.

(ב) ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇

(ב) ב[[1924]], [[1924]]]], [[1924]]]]]], [[1924]]]], [[1924]]]]]], [[1924]]]]]], [[1924]]]]]], [[1924]]]]]]]], [[1924]]]]]]]], [[1924]]]]]]]], [[1924]]]]]]]]

יישומים מעשיים

מודלים של אורך דיפוזיה מסייע בתכנון תהליכים doping, שליטה במעמקי צומת, ולהפחית פגמים.זה מאפשר למהנדסים לעבד אופטימיזציה טיפולים תרמיים פרופילים לא מזיק לביצועים טובים יותר של המכשיר.