שיטות מעשיות לחיסול חיי הקטין בסיליקון

הבנת חיי נושאת המיעוט בסיליקון ויפרים היא חיונית לקידוד הביצועים של מכשירים למחצה.כמה שיטות מעשיות משמשות למדידת החיים האלה, מתן תובנות חשובות באיכות החומרית ויעילות המכשיר.

שיטת צילום: Decay Method

שיטת הנפיחות של photoconductance כוללת תאורה של סיליקון wfer עם דופק אור ומדידה את דעון התמונה המתקבלת.הקצב הריקבון תואם את חיי נושאת המיעוט.טכניקה זו משמשת באופן נרחב כי היא מספקת מדידות מהירות ולא הרסניות.

זמן-Resolved Photoluminescence

זמן-resolved photoluminescence (TRPL) מודד את Recombination של ספקים על ידי גילוי אור פולט לאחר ציטוט.דעון של אות photoluminescence מציין את החיים של ספקים מיעוט. TRPL מציעה פתרון מרחבי גבוה והוא מתאים עבור מתיחות דקים או אזורים מקומיים.

טכניקת צילום מיקרוגל

טכניקה זו משתמשת אותות מיקרוגל כדי לזהות שינויים ב מוליכות של סיליקון wfer לאחר ציטוט אופטי.זה מספק מדידה ללא מגע של חיי נושא מיעוט שימושי עבור wfers עם גיאוגרפיה מורכבת.

שיקולים נוספים

גורמים כגון שחזור פני השטח, רמות מינון, וטוהר הירכיים להשפיע על החיים המדוייקים. ⁇ נכונה והבנה של גורמים אלה הם הכרחיים לתוצאות מדויקות.שלב שיטות מרובות יכול גם לשפר את האמינות המדידה.