כמו תעשיית המוליכים למחצה רודפת ללא הרף את הממדים הטרנסטוריים הקטנים יותר על פי חוק מור, אפקט מכני הקוונטי הזניח בעבר הפך גורם דומיננטי בביצועים ואמינות של מנהרה קוונטית, התופעה שבה חלקיקים עוברים דרך מחסומים אנרגיה כי יהיה אסור על ידי פיזיקה קלאסית, עכשיו שולט פילונות, צריכת חשמל, ואת גבולות היסוד של miniaturization וניהול של טכנולוגיות חיוני עבור הדור הבא של תופעות לוואי של תכונות מורכבות של תכונות חשיבה, עכשיו.

הפיזיקה של מנהרת הקוונטים

(החלופה הקוונטית עולה מן הדואליות של החומר.במכניקה קלאסית, אלקטרונים עם אנרגיה אקספוננציאלית (FLT:0) 1 נתקל במחסום פוטנציאלי של גובה FLT:2VFLT 30030 ⁇ 4 וgt; FLT:65EFLT:6 אינו יכול להופיע על המחסום; הוא משתקף, עם זאת, בתוך זרם אלקטרון יעיל, אשר הוא מתדרדרדרדר באופן יעיל, עם זרם אלקטרונים, הוא מתרחב באופן יעיל, עם זרם אלקטרוני, אשר הוא למעשה, עם זרם אלקטרון, אשר הוא מתווה, אשר הוא מתווה, אשר הוא למעשה, עם זרם יעיל, עם זרם אלקטרון, עם רוחב מנהרה, עם זרם יעיל יותר ויותר, עם רוחב מנהרה, עם גודלואלי, עם זרם יעיל של אלקטרון, עם רוחב מנהרה, עם זרם יעיל של אלקטרון, עם זרם יעיל של אלקטרון, אשר הוא מתרחב באופן יעיל של מנהרה, עם זרם יעיל של מנהרה, עם גודל זה, אשר הוא מתפרש באופן יעיל של מנהרה, עם גודל זה, אשר הוא מתהפך, אשר הוא מתפרש באופן יעיל של מנהרה, אשר הוא מתהפך, עם רוחב מנהרה, אשר הוא מתפרש באופן יעיל של

הקרן המתמטית למנהרה במכשירים סמי-מוליכים מתוארת לעתים קרובות באמצעות ה- Wentzel-Kramers-Brillouin (WKB) של מחסום מלבני חד-ממדי, ה-Coefficienter (FLT:0TreaFLT:1) היא בערך:

(ב) ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇

כאשר m * הוא המסה האפקטיבי, V(x) פרופיל פוטנציאלי, ו ⁇ קבוע Planck מופחת.מערכת יחסים זו מדגישה מדוע דיאלקטריות גבוהות יותר ו תחמוצות פיזיות עבות יותר יכולים לדכא מנהרה: הם מגבירים את גובה המחסום ביעילות ורוחב.המציאות במכשירים אולטרה-סוליים מורכבת יותר בשל התכופים, קוונטים בתחפוך, ואפקטים רב-ממדיים, אך העיקרון הליבה הוא עדיין פונקציה אקספומית.

המונחים היסטוריים

מנהרה קוונטית נצפתה לראשונה בשנות העשרים בהקשר של דעיכה אלפא, ולאחר מכן הוחלה על צומת מוליכים למחצה במנהרה (Leo Esaki, 1957) כמדמי טרנזיר מתחת 100 nm בסוף שנות ה-90, מנהרה תחמוצת שער הפכה לדאגה עיקרית.מפת הדרכים הבינלאומית עבור Semiconductors (ITRS) זיהו שוב ושוב כחוקר מרכזי עבור סקאלה כיום, עם 10 שער נמוך יותר ממרחק, בין שער הטכנולוגיה הבינלאומית לכדי אתגר ראשוני לנקמיית זיכרון, ו- 10 נוקמים, בין 10 נוקמים, ובין אם הוא ממרחק בין 10 לוגיקה, ובין אם הוא הופך להיות בעל 10 ערפילית, 000 ערפילית, 000 ערפילית, 000, 000, 000, 000 ערפילית, 000, 000 ערפילית, 000 ערפילית, 000 ערפילית, 000 ערפילית, 000 ערפילית, 000 ערפילית, 000 ערפילית, 000 ערפילית, 000 ערפילית, 000 ערפילית, 000 ⁇ ⁇ ערפילית, 000 ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇

השפעה על מכשירים Semiconductor אולטרה-Scaled Semiconductor

מנהרה קוונטית משפיעה כמעט על כל היבט של ניתוח טרנסיסטאור מודרני, מצריכת חשמל סטטית ועד ביצועים דינמיים.

שער Oxide מנהרה ו-Leakage Currents

(ב) עובי התוכנית המסורתית MOSFET, תחמוצת השער (התקפה של אבן) היה בקנה מידה אגרסיבי כדי לשפר את בקרת השער ולכונן זרם הנוכחי.עם זאת, מתחת ל 2 ננומטר, מנהרה ישירה דרך תחמוצת הפחמן הופכת משמעותית.זה (FLT:0gate שערי דליפות זרם זרם זרם 1D) אפילו כאשר הטרנזיר אמור להיות כבוי, הגדלת פיזור החשמל בשכבה גבוהה (FD2D)

זרמי הדליפה עקב מנהרה אינם מוגבלים לטרנזיסטורים לוגיים. בזיכרון פלאש, שכבות אחסון המטען מסתמכות על מנהרה עבור פעילות תוכנית / רצ'ז, אבל דליפות לא רצויה עלולה לגרום לאובדן שימור.

אפקטים קצרים של Channel ו- Performance Degradation

מנהרה מגבירה את ההשפעות הקצרות של ערוצים (SCEs), במיוחד (FLT:0) מחסום המושרה (DIBL) irFLT:1 ו-FLT:2threshold Stress roll-offFLT 3 בערוץ קצר, הניקוז פוטנציאל לניקוז את המכשול של כוח-ל-ל-ל-מרוץ, מה שמאפשר להובלת נושאות גם כאשר השער מתחת למתח זה הוא צורך במנהרה- 60-to-to-to-in-upr-to-upativer-uprationerd) כדי להפחית את הפחתת כוח נוסף.

ניהול חשמל ו-Thermal Management

עם זרמי דליפות מושרה של מנהרה, רכיב הכוח סטטי הפך להיות דומה לכוח דינמי בצומת מתקדם. עבור מעבדים ביצועים גבוהים, כוח דליפה יכול לקחת בחשבון עבור 30-50% מכלל כוח השבבים.חום הפסולת הזה חייב להיות מתפזר, מעלה כוח עיצוב תרמי (TDP) מגבלות קירור ועלויות קירור.

חששות

מנהרה תורמת למספר מנגנונים של לבישת:0Bias טמפרטורה חוסר יציבות (BTI) ,L1) - הן שליליות (NBTI) והן חיוביות (PBTI) - מואצת על ידי מנהרה של ספקים חמים לתוך בקרת שער dielectric, יצירת מלכודות אשר משנים את המתח לאורך זמן.

אסטרטגיות הנדסיות לאפקטי מנהרות של Mitigate

במקום לקבל את המגבלות המוטלות על ידי מנהרה, תעשיית המוליכים למחצה פיתחה ערכת כלים עשירה של חומרים, ארכיטקטורות מכשירים וטכניקות עיצוב כדי לדכא את ההשלכות הלא רצויות שלה.

חדשנות חומרית

(הופנה מהדף ה-[[18]], [[1924]]]], [[1924]]]]]], [[1924]]]]]], [[1924]]]]]], [[1924]]]]]]]]]]]]]], [[1924]]]]]]]]]]]]]]]], [[1924]]]]]]]]]]]]]]]]]], [[1924]]]]]]]]]]]]]]]]]]]]]]]]]]]]]], [[1924]]]]]]]]]]]]]]]]]], [[1924]]]]]]]]]]]]]]]]]]]]]]]]]]]]]]]]]]]]]]]]]]]]]]]]]]]]]]]]]]]]]]]] [[1924]], [[1924]]]]]]]]]]]]]]]]]]]]]]]]]]]]]]]]]]]]]]]]]]]]]]]]]]]]]]]]]], [[1924]]]]]]]]]]]]]]]]]]]]]]]]]]]], [[[[1924]]]]]] [[[[1924]]]]]]]] [[1924]]]]]]]] [[[[1924]]]]]]]]]]]]]]]]]]]]]] [[[[1924]]]]]] [[[[1924]]]]]]]] [[[[[[[[1924]]]]

(ב) עיין ב[[1924]] ב[[1924]]]], [[1924]]]], [[1924]]]], [[1924]]]]]], [[1924]]]]]]]]]]]], [[1924]]]]]]]]]]]]]]]]]], [[1924]]]]]]]]]]]]]]]]]] ו[[1924]]]]]]]]]]]]]]]], [[1924]]]]]]]]]]]]]]]]]]]]]]]]]]]]]]]]]], [[1924]]]]]]]]]]]]]]]] [[1924]]]]]]]]]]]]]]]]]]]] [[1924]]]]]]]]]]]]]] [[1924]]]]]]]]]]]]]]]]]]]]]]]]]]]]]]]]]]]]]]]]]]]]]] [[1924]] [[1924]]]]]]]]]]]]]]]]]]]]]]]]]]]]]]]] [[[[1924]]]]]]]] [[[[1924]]]]]] [[[[1924]]]]]]]] [[[[1924]]]]]] [[[[1924]]]]]]]]]]]]]]]]]]]] [[[[[[1924]]]]]] [[[[1924]]]]]]]] [[[[[[[[[[1924]]

אדריכלות: Change

(אולי) אסטרטגיית הפחתת הצמיגים המוצלחת ביותר הייתה המעבר מטרנסים של שלושה ארכיטקטורות תלת-ממדיות (FLT:0FinFETsFLT:1), שהוצגה בשכבה ה-22 nmFde (Intel, 2011), מקיפים את הערוץ על שלושה צדדים עם השער, המספקים שליטה אלקטרוסטטית טובה יותר וצמצום הדליפה של המקור (ALT-F) גם כן, כולל מגבלות על ידי מחסנית-APTD2DLC (Goutic).

תהליכי עיצוב וטכניקות עיצוב

(ב) ב[[1924]], [[1924]]]], [[1924]]]]]], [[1924]]]]]], [[1924]]]]]], [[1924]]]]]]]]]], [[1924]]]]]]]], [[1924]]]]]]]]]]]]]], [[1924]]]]]]]]]]]], [[1924]]]]]]]]]]]]]], [[1924]]]]]]]]]]]]]] ו[[1924]], [[1924]], [[1924]], [[1924]]]]]]]]]]]]]]]]]]]]]]]]]]]]]]]], [[1924]]]]]]]]]]]], [[1924]], [[1924]]]]]]]]]]]]]]]]]]]]]]]]]]]]]]]]]]]]]]]]]]]]]]]]]]]], [[1924]], [[1924]], [[1924]], [[1924]], [[1924]], [[1924]], [[1924]], [[1924]]]]]]]]]], [[1924]], [[1924]]]]]], [[1924]]]]]]]]]], [[1924]]]]]]]]]] [[[[1924]]]]]]

Beyond Suppression: Harnessing Tunneling for Novel מכשירים

בעוד מנהרה נתפסת לעתים קרובות כגורם מגביל, היא מאפשרת מספר מושגים חדשים ומבטיחים שיכולים להרחיב את חוק מור או להציע פונקציונליות חדשה לחלוטין.

מנהרה שדה-אפרקט טרנזיסטור (TFET)

TFETs לנצל את המנהרה של הלהקה במקום פליטה ממתאם לעבור. כי מנהרה היא מסנן אנרגיה חדה, TFET יכול להשיג תנודות תת-קרקעי מתחת 60 mV / decade בטמפרטורת החדר, פוטנציאל המאפשרים הפעלה אולטרה-נמוך של חיישן נמוך.האתגר נמצא בהשגת זרם גבוה תוך שמירה על מדרונות תת-קרקעית גבוהה.

קיבולת שלילית (NC-FET)

מכשיר מתפתח נוסף משתמש בחומר ferroelectric בערימה השער, יצירת אפקט קיבול שלילי המגדיל את פוטנציאל פני השטח.זה יכול להפחית את התננדות subthreshold מתחת 60 mV / decade מבלי להסתמך על מנהרה להחלפה. עם זאת, השכבה הferroelectric עצמה יכולה להיות כפופה לדליפה אם רזה מדי.

קונטינוס דוט ו- Single-Electron Transistors

(ב) בצמצום הסופי של הסקאלה, (FLT:0) דונם של דולפינים (FLT:1) - איים בגודל ננומטר - יכולים ללכוד אלקטרונים בודדים, המאפשרים טרנזירים הפועלים עם רק כמה אלקטרונים.מנהרה הוא המנגנון שבאמצעותו האלקטרונים נכנסים ויוצאים מהדואט (המכשירים האלה רגישים מאוד ויכולים לשמש לזיכרון אולטרה-חושים או לוגיקה קוונטית, אך הם דורשים תנודות (F) לצמצום דומה לצמצום של טרנסג'נדרום (מרפאים).

מנהרה מזיכרון טכנולוגיות

(ב) [ה]: [ה] [הזיכרון] הפלאש [ה] הוא הדוגמה הקלאסית של ניצול מנהרה: אלקטרונים מנהרה דרך תחמוצת דקת-החרסה לשמירת המטען בשער צף, כפי שמדורגת, מנהרה משמשת גם ב-FLT:2D NANDpherpherpherbtial: 6: 7Bulial shaped) ו-Freative memory (Rir-Freative memory)

פרספקטיבה עתידית והדרך

התעשייה המוליכים למחצה מתקרבת לגבולות פיזיים יסודיים שבהם מנהרה קוונטית שולטת.ה-2 nm ו-1.4 nm nodes כרגע בפיתוח (הצפוי בסביבות 2025–2030), ככל הנראה ישתמשו באדריכלות GAA עם ננוגליציות או למכשירי גליון (השילוב הטרוגני של חומרי ערוץ דקים שונים (למשל, SiGe או Ge for-p) יכול לייעל בין היתרה-Faling Space (Fal-Faling Space) לבין מנהרה חדשה (Faling Spaceing Spaceing Space) לבין מנהרה (מעבר ל-Fdeing Space-Fal) לבין מנהרה (Tercing Spaceing Spaceing Spaceing Space) לבין מחסנית שטחיתרון (Terding Spaceing Spaceing Spaceing Space) מעבר ל-Falr-Fal) ו-Fal) מעבר ל-Fal ReLTr-Fal ReLTring Spaceing Spaceing Spaceing Spaceing Spaceing Spaceing Space (לדוגמה, מעבר ל-Fdeing Spaceing Spaceing Spaces) מעבר ל-Fdeing Spacedlementing Spaceing Spaceing Spaceing Spaceing Spaceing Spaceing Spaceing Spaceing Spaceing Spaceing Space

(ב) לפני החומרים (FLT:0) מוליכים למחצה של ההרחבה 1 (הידוענים מוניפל MoSphFLT:203FLT: 3) מציעים דקות ערוץ האולטימטיביות ( ⁇ 0.65 nm) אשר מפחית באופן דרסטי אפקטים קצרים ערוצים, אך הם גם מתמודדים עם קשיי מנהרה חמורים במגעים ובאמצעות דיאלקטריות גבוהות על 2D חומרים גדולים עדיין, לעומת 1:4F) עם חומרים מסחריים, אך הם יכולים להיות ממריצים ל-DF1, אך ורק אם כי הם יכולים להיות בעלי נפח גדול של פחמן גבוה, אך ורק אם כי הם יכולים להיות בעלי נפח של חומר מרכזי של פחמן גבוה, אך ורק אם כן, אם כן, אם כן, אם הם יכולים להיות בעלי נפח של 1:4.

התפקיד של מנהרה באמינות יהיה אפילו יותר קריטי כמו מכשירים להתקרב ממדים אטומיים.לדוגמה, ב 3 nm node, תחמוצת השער עשוי להיות רק שלוש עד ארבע שכבות אטומיות עבה, מה שהופך אותו פגיע לאירועים מפוכחים.

אנו יכולים גם לצפות כי מנהרה לשחק תפקיד כפול במחשוב הקוונטי. Semiconductor ספינ qubits, למשל, להשתמש ב dots קוונטיים שבו מנהרה בין dots Mediates להחליף אינטראקציות. Reducing מנהרה לא רצויה לסביבה (decoherence) הוא חיוני עבור נאמנות qubit.

לסיכום, מנהרה קוונטית כבר אינה סקרנות תיאורטית; היא התחזוקה הפיזית הדומיננטית במכשירים חצי-מוליכים למחצה בקנה מידה אולטרה-ממדיים.באמצעות חומרים גאוניים, הנדסה למכשירים ועיצוב מעגלים, התעשייה הצליחה עד כה לשמור על מנהרה תחת שליטה, המאפשרת סקאלה אקספוננציאלית להמשיך במשך עשרות שנים.הדור הבא של מכשירים ידרוש אסטרטגיות מעצימות אגרסיביות יותר - ונכונות לאמץ כלי פשוט לא פחות חשוב, כמו מכניקה מדויקת של אינטליגנציה אטומית.

לקריאה נוספת, המשאבים הבאים מספקים דיונים מפורטים של מנהרה במכשירים סמי-מוליכים:

  • (ב) ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇
  • (ב) ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇
  • (ב) ⁇ (ב) ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇
  • (ב) ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇