מקרה מחקר: נצל את ה- Spc כדי להפחית את ה Defects ב Semiconductor
בקרת תהליכים סטטיסטית (SPC) היא שיטה המשמשת לפקח על תהליכי הייצור והשליטה.בייצור של Semiconductor, SPC מסייע לזהות וריאציות שיכולות להוביל לפגמים, ומאפשרות התאמות יזום לשיפור איכות ותשואות.
יישום SPC בייצור Semiconductor
יישום SPC כרוך איסוף נתונים של שלבים שונים של תהליך ייצור.הנתונים האלה ניתחו באמצעות תרשימים שליטה כדי לזהות מגמות או סטייה. גילוי מוקדם מאפשר למהנדסים לטפל בבעיות לפני פגמים להתרחש, צמצום פסולת ועבודות מחדש.
היתרונות של שימוש ב-SPC כדי להפחית את ה Defects
החלת SPC ב- Semiconductor fabrication מציעה מספר יתרונות:
- איכות המוצר:0 (הופנה מהדף קונסולת 1) בקרת תהליכים עקבית מובילה להפחתה של פגמים.
- (ב) ,0) תשואות גבוהות יותר: הפחתה של 1:1 מגדילה את מספר השבבים הפונקציונליים ל-Valfer.
- (ב) חסכון:0 (ה) חסכון: 1FLT) פחות עבודות וחיתוך מופחת הוצאות הייצור.
- (ה)הבנה של תהליך ה-FLT:0) ,הבנה של תהליך: FLT1 ניתוח נתונים מגלה הבדלים תהליכים וסיבות שורש.
דוגמה: Defect Reduction באמצעות SPC
צמח סמי-מוליכים המיושם SPC על פני שלבים קריטיים של תהליכים.על ידי ניטור פרמטרים מרכזיים עם תרשימים שליטה, הצוות זיהה סחף במדיות גירוד. פעולות תיקון נעשות מיד, וכתוצאה מכך ירידה של 30% בשיעורי פגם מעל שישה חודשים.