การ เข้าใจ ปัญหา ทั่ว ไป และ วิธี แก้ ของ ปัญหา เหล่า นี้ จําเป็น อย่าง ยิ่ง สําหรับ การ ผลิต อย่าง มี ประสิทธิภาพ บทความ นี้ ให้ ข้อ แนะ และ การ คํานวณ ที่ ใช้ ได้ จริง เพื่อ แก้ ปัญหา ใน การ ใช้ เครื่อง นํา ร่อง แบบ ที่ มี การ คาด เดา มา นาน แล้ว

ประเด็น ทั่ว ไป ใน เรื่อง การ ทํา ให้ ผอม ลง

ปัญหา เหล่า นี้ อาจ ทํา ให้ เกิด ความ บกพร่อง, การ ให้ ผล ผลิต ลด ลง, และ มี ค่า ใช้ จ่าย เพิ่ม ขึ้น การ ระบุ สาเหตุ ราก เหง้า เป็น สิ่ง สําคัญ อย่าง ยิ่ง เพื่อ จะ รักษา คุณภาพ การ ผลิต ไว้ ได้ อย่าง รวด เร็ว

ข้อ แนะ ที่ ใช้ ได้ จริง

การ ตรวจ สอบ และ ดู สิ่ง แวด ล้อม ให้ ละเอียด ก่อน จะ ตรวจ สอบ ดู ว่า อุปกรณ์ และ สิ่ง แวด ล้อม มี การ ปรับ ตัว เป็น ประจํา สามารถ ป้องกัน ปัญหา หลาย อย่าง ได้

การควบคุมกระบวนการทางสถิติ (PC) เพื่อติดตามการแปรผันของรูปแบบต่าง ๆ เมื่อเกิดปัญหาขึ้น ให้เปรียบเทียบข้อมูลปัจจุบันกับค่าพื้นฐาน เพื่อระบุความผิดปกติ ใช้โปรโตคอลห้องสะอาดเพื่อลดความเสี่ยงการปนเปื้อน

การคํานวณสําหรับโพรเซส Opimatization

การคํานวณจําเป็นสําหรับการปรับค่าพารามิเตอร์ของโพรเซส ตัวอย่างเช่น การคํานวณอัตรา ฯลฯ ช่วยในการตัดสินใจเรื่องเวลาการประหยัด:

[FLT: 0] เวลา = ความลึกปรารถนา/อัตราเอทช

ซึ่งอัตรา ฯลฯ วัดเป็นนาโนเมตรต่อวินาที และความลึกที่ต้องการอยู่ในนาโนเมตร การคํานวณที่ถูกต้องจะทําให้กระบวนการมีความสอดคล้อง และความสม่ําเสมอของอุปกรณ์

ใน ทํานอง เดียว กัน การ คํานวณ ความ เข้ม ข้น ของ การ พ่น ยา เกี่ยว ข้อง กับ สูตร ดัง ต่อ ไป นี้:

[FLT: 0] doping express= (เลขอะตอมของโดแพนต์) / (Volme of the doped land)

นี่ ช่วย ควบคุม อุปกรณ์ กึ่ง ตัว นํา สัญญาณ ไฟฟ้า.