Mahalaga ang pagsukat sa resistansiya ng mga patong na semiconductor sa mga aparatong manipis-film para sa pag-unawa ng mga katangian at pagganap nito na elektrikal. ang tumpak na determinasyon ay tumutulong sa pag-eee - easytisasyon at pagkontrol ng kalidad.

Mga Paraan Para sa Di - Pasugpong Pagsukat

Ilang pamamaraan ang ginagamit upang sukatin ang resistansiya ng mga patong na semiconductor. Ang pinaka-karaniwang pamamaraan ay kinabibilangan ng four-point probe method at ang pamamaraang two-point measure. Ang four-point probe ay binabawasan ang mga epektong contact resistance, na nagbibigay ng mas tumpak na mga resulta.

Apat na Paraan ng Pag - aaral

Ang pamamaraang ito ay nagsasangkot ng paglalagay ng apat na magkakatulad na espasyong probe sa ibabaw ng semiconductor.Ang isang agos ay ipinapasa sa mga panlabas na probe, at ang boltahe ay sinusukat sa mga panloob na probe.

Pagkalkula sa Pagtutol

Ang resistansiya (R) ay maaaring kalkulahin gamit ang batas ni Ohm: R = V / I, kung saan ang V ay ang boltaheng sinusukat sa ibayo ng aparato, at ako ang kasalukuyang nilalapat. Para sa mga pelikulang manipis, ang sheet resistance (Rs) ay madalas na ginagamit, na may kaugnayan sa resistansiya sa pamamagitan ng heometriya ng pelikula.

Mga Salik na Nakaaapekto sa Di - nakapipinsalang Pagsukat

  • Tingnan ang kalidad ng mga probe
  • Di - normal na kayarian ng semiconductor layer
  • Ang temperatura sa panahon ng pagsukat
  • Kakapalan ng pelikula