Ang mga interface na estado sa mga semiconductor ay mga electronic energy level na nasa hangganan sa pagitan ng semiconductor na materyal at isang insulador o iba pang materyal. Ang mga estadong ito ay maaaring sumilo sa mga carrier ng charge, nakakaapekto sa paggawa ng aparato. pag-unawa kung paano magsukat at mag-ebolb ang mga estadong ito ay mahalaga para sa pagpapabuti ng semiconductor device survigence at kahusayan.

Pagsukat sa mga Estadong Interface

Ilang mga pamamaraan ang ginagamit upang sukatin ang mga estadong interface, kabilang ang capacitence-voltage (C-V) na mga sukat at malalim na-level transfered spectroscopy (DLTS). Ang mga pamamaraang ito ay tumutulong sa quancify sa densidad at distribusyon ng enerhiya ng mga estadong interface.

Ang mga sukat na Capacitence-voltage ay kinasasangkutan ng paglalagay ng boltahe sa isang aparato at pagsusuri sa mga resultang pagbabagong capacitence. ang mga variation sa capacitence ay nagpapahiwatig ng pagkakaroon ng mga interface trap. DLTS pagsukat ng transisyunal na mga pagbabagong capacitence sanhi ng pagsilo ng charge at pag-iiscting, pagbibigay ng detalyadong impormasyon ng antas ng enerhiya.

Mga Estratehiya Para sa Pag - aayos

Ang mga nagreresulta sa mga estadong interface ay kinasasangkutan ng pagpasa sa ibabaw ng lupa, pagpili ng materyal, at prosesong optimisasyon. ang mga layer ng passion, tulad ng silicon dioxide o silicon nitride, ay binabawasan ang mga strando ng trap sa interface.Ang mga tamang pamamaraan ng paglilinis at pag-imbento ay binabawasan din ang defect form.

Ang paggamit ng mga high-quality na materyales at kontroladong mga kondisyon sa pagpoproseso ay maaaring lubhang magbawas ng bilang ng mga estadong interface, na humahantong sa mas mabuting pagganap ng aparato at haba ng buhay.

Karaniwang mga Materyales at Pamamaraan

  • Silicon dioxide (SiO2) passiviation
  • Mga suson ng Silicon nitride (Si3N4)
  • Paglilinis sa ibabaw ng lupa na may HF etching
  • Ang mga proseso ng oksidasyon na nasa ibabaw ng lupa
  • Optimisadong mga paggamot na nagsasangkot ng pag - aalis ng kirot