Ang pagsusuri sa karaniwang mga problema ay mahalaga para matiyak kung paano gagawin at ibibigay ang mga ito.

Karaniwang mga Isyu ng Pagduduwag

May ilang isyung maaaring bumangon sa panahon ng paggawa ng silicon photonics, kabilang na ang mga depekto sa disenyo, mga di - pantay na sapin, at pagiging magaspang sa ibabaw ng lupa.

Ang Ulirang mga Depekto at ang Resolusyon

Ang mga depekto sa huwaran ay kadalasang resulta ng mga isyu ng maskara o mga pagkakamali sa litograpiya upang tukuyin ito, tiyakin na ang mga maskara ay malinis at maayos na nakahanay. Ang regular na calibrasyon ng mga kagamitang litograpiya ay maaari ring makabawas sa mga depekto.

Maling Pag - aayos ng Layer

Ang maling pagkakahanay sa pagitan ng mga patong ay maaaring maging sanhi ng pagkasira ng aparato. Ang paggamit ng mga high-precision na kasangkapan sa paghahanay at pagtitiyak ng mga marka ng pagkakahanay sa bawat hakbang ay nakakatulong upang mapanatili ang katumpakan. ang hindi nagbabagong kontrol sa proseso ay mahalaga.

Pagkabaog at Pagkontrol sa Katangian

Ang pagiging magaspang ng ibabaw ay nagreresulta sa pagkawala ng optikal. ang mga mplemental na kemikal-mechanical experiment (CMP) at tamang-buting etimolohiya upang makamit ang makinis na ibabaw. ang mga regular na pag-suri sa ibabaw ay maaaring makadetek ng mga isyu nang maaga.

  • Panatilihin ang malinis na silid
  • Gumamit ng high-quality na mga materyales
  • Pagsubaybay sa proseso ng pag - implement
  • Regular na kagamitang pang - calibra
  • Magsagawa ng masusing pagsisiyasat