Yarı iletken Endüstride Sampling Kabul: Toplantı Dar Hoşgörüleri

Yarı iletken endüstri hassas mühendisliğin sınırlarında çalışır. Entegre devreler tek haneli nanometre düğümleri ve feragat listeleri 300 mm'ye ve ötesinde, atom ölçeklerine kadar küçültülen hata marjı bile, tek bir toz veya alt dalga boyundaki bir kalınlık varyasyonu bile, yarı zamanlı olarak zayıf toleranslar için nasıl adapte edilebilir, optimizasyon ve güvenilirlik sağlamak için uzun süre güvenilirdir.

Sampling'i kabul eden nedir?

Kabul örneği, küçük bir alt kümesi test etmek ve tüm zamanların çok fazla malzeme veya ürün kabul edip, rastgele seçilmiş bir örnek incelemesine dayanan bir istatistiksel tekniktir.Rekadeksiyon örneği, üreticinin küçük bir alt kümesini test etmesi ve tüm zamanların önemli tasarrufları olup olmadığını belirlemek için kullanılan kusurların sayısını belirlemektir.Bu yaklaşım, özellikle de test yıkıcı veya denetim süreci yavaş olduğunda.

Karar kuralı iki anahtar parametre üzerinde inşa edilir: AQL, tüketicinin bir ortalama işlem olarak kabul edilebilir bir kalite seviyesidir (AQL)).

Yarı iletken endüstride, AQL değerleri genellikle genel üretimden daha sıkıdır. Tipik bir tüketici elektronik bileşeninin AQL 1 % veya 0.65'i %, yarı iletken wafers ve cips sık sık sık eQL'leri talep eder.Bu sürücüler daha büyük örnek boyutlarda ve daha hassas ölçüm ekipmanları için ihtiyaç duyar.

Yarı iletken Üretimde Örneklemenin Rolü

Yarı iletken üretim çok yönlü, yüksek sermaye yoğun bir süreçtir. Her aşamada eklenen değer dramatik bir şekilde artmaktadır: çıplak silikon wafer birkaç dolar maliyeti, ancak son teste ulaştığında, tek bir ölü yüzlerce dolara mal olabilir.Bir hata daha erken işlem maliyeti kötü bir düşüşe sebep olur. Kabul örneği birden fazla noktada uygulanır:

Wafer Fabrication (Front End)

Ön uç işlemede, gelen ham silikon wafers kristalografi kusurları için örneklenir, kalınlık üniforması ([D:0) toplam kalınlık varyasyonu, TTV) ve fotolithografi, etching ve depozisyon gibi kritik adımlardan sonra, bir casette veya fırından çekilmek için çekilir. Standart özellikler 200'den fazla yüklenebilir.

Assembly ve Ambalaj (Back End)

Direndikten sonra, bireysel endeksler görsel kusurları için örneklenir (kahkahalar, çipleme), tahvil ped bütünlüğü ve yüksek hacimli şirketlerde yüksek hacimli ambalajlar, kabul örnekleme standartları [Döndergiler, substratlar ve kalıp bileşik kümeler için kullanılır. Çünkü bu malzemeler dış tedarikçilerden gelir ve tedarikçinin kaliteli güvencesi programı ile uyumlu olmalıdır.

Final Testi ve Burn-In

Çizginin sonunda, kabul örneği genellikle yakılmış ve elektrik testi için kullanılır. Çünkü her cihaz, belirli yüksek hacimli empoze için ekonomik olarak uygulanabilir olabilir programları görevlendirilmiş olarak test edilir.

Toplantının meydan okumaları

Yarı iletken endüstrinin sıkı toleransları, kabul örnekleme için eşsiz zorluklar ortaya koyar. Geleneksel örnekleme planları, ürün kalitesinin çok fazla homojen olduğunu varsayar, ancak yarı iletken bir şekilde, arızalar veya yerelleştirilmiş çevresel koşullar nedeniyle kümelenebilir. Ayrıca ölçüm belirsizlik, tolerans riskini artırabilir, yanlış sınıflama riskini artırabilir.

• [FONT=0)Measurement sistemi yeteneği: Gage tekrarlanabilirlik ve reroducability (GR&R) tolerans aralığının% 10'undan daha az olması gerekir. alt-nanometre özellikleri için, bu atomik güç mikroskopları, tarama elektron mikroskopları ve elpsometreler gibi pahalı ekipman gerektirir.
• [FONTD:0]Sampling hatası:[Döneticiler sadece birkaç nanometre olduğunda, küçük bir örnekleme hatası bile aslında spesifikasyon sınırlarını aşacak çok şeyi kabul etmeye yol açabilir. Gelişmiş istatistiksel teknikler [Dönemli örnekleme planları).
• [FONT:0)Process sürüklenme:[Dönetici:[Dönetici:0)))) Bir darbenin başlangıcında çalışan örnekleme planı, atlama örnekleme ile birlikte yapılan denetim grafiklere yardımcı olabilir ve doğru sürüklenebilir.
• [[Dönetici Özellikleri:[Dönetici: 0,0) Paragraflar genellikle Poisson dağıtımını takip eder, ancak uzaysal kümeleme ile basit rastgele örnekleme kümeleri kaçırabilir, yanlış çok fazla eğilime yol açabilir. Spatially stratedici veya çift örnekleme planları bazen olasılık tespit etmek için kullanılır.

Sampling Planları ve Endüstri Standartları

Birkaç ulusal ve uluslararası standartlar kabul örnekleme planları için temel sağlar. En yaygın kullanılan israfı:0)ANSI/ASQ Z1.4 (eski olarak MIL-105)), özellikle de öznitelik örneklerine dayanan (go/no-go)[değiştir | kaynağı değiştirmiş değerler için)[x-düşük değerlerin))))[Dönetici/ASQ2 genellikle işlem yaparken, özellikle de boyut toleransları eleştireldir.

Yarı iletken endüstrinin bu standartları sık sık sık sık sık sık sıktığı dikkat etmek önemlidir. Yarı iletken bir üreticinin içsel özellikleri istenen tüketici korumasını sağlamak için bir AQL 0.04% s. birçok firmanın tarihsel süreç yeteneklerini kullanarak bilgi (C_{) ile bütünleme planları dinamik olarak ayarlandığından elde edilmesi gerekir.}

Standart örnekleme planları hakkında daha fazla okuma için, [[0)ASQ Kabul Kaynağı[[Dönetici: 1) ve [[Dönetici Ekipman ve Malzemeler için İMD Standartları[DÜye Olmayanlar için · 3 ).

Doğru Sampling Planını Seçin

Verilen bir yarı iletken uygulama için örnekleme planı seçmek çeşitli faktörleri dengelemek içerir:

• [FONT:0) parametrenin öznelliği: Cihazı etkileyen elektrik parametreleri (örneğin, eş gerilimi, sızıntı akımı) kozmetik kusurlardan daha düşük AQL ve daha büyük örnek boyutları gerektirir.
• [FONT:0) Örneklemenin En İyileri:[Dönetici: [Dönetici: 0,0) Destructif testler (örneğin, kablo çekme gücü) doğal olarak limit örnek boyutları.
• [FONT:0) tedarikçi veya süreç tarihi: kanıtlanmış kapasiteye sahip süreçler (C_{)pk[DÜ:3) vegt; 1.33) Z1.4'ün “normal, sıkılaştırılmış, azaltılmış” şeması altında örnekleme için uygun olabilir.}
• [FONT:0)Yönerge gereksinimi: [Dönergesellik: [Dönerge: SİHİRMA) Otomotiv (AEC-Q100), tıbbi (ISO 13485), ve savunma (MIL-PRF-19500 sektörleri) genellikle özel örnekleme planlarını ve minimum örnek boyutlarını görev almaktadır.

Kabul etmeyi Etkili bir şekilde kabul etmeyi hak edin

Etkili uygulama, bir tablodan örnekleme planı seçmekten öteye gider. Genel kalite yönetim sistemi ve fab'ın günlük operasyonu ile entegrasyon gerektirir. Aşağıdaki stratejiler yarı iletken ortamlarda kanıtlanmıştır:

Karşılaştırma İstatistiksel Süreç Kontrolü (SPC)

Kabul örneği SPC ile birlikte en güçlüdür. Anahtar parametreler üzerinde kontrol grafikler (örneğin, oksit kalınlığı, kritik boyut, direnç) işlem istikrarı üzerinde gerçek zamanlı geri bildirim sağlar.D 1916[DDD-Dönlendirme)[Dönlendirmede başarısız olabilir.

Otomatik Metroloji Entegrasyonu Kullanın

Modern yarı iletken fabrikalar, birçok siteyi feragat eden otomatik metroloji araçları ile donatılmıştır ve birçok wafers için birçok indirme işlemi otomatik olarak toplanabilir.Bu araçlar her biri için örnekleme planı mantığını entegre ederek, üretim yürütme sistemine (MES), bir çok şeyi kabul etme veya reddetme kararı otomatik olarak gerçek zamanlı verilere göre yapılabilir.Bu, insan hatası ve hızları azaltır - her biri binlerce dolara değer verir.

Gelişmiş İstatistik Yöntemleri Uygulayı

Klasik özellikler ve değişken örnekleme ek olarak, yarı iletken kaliteli mühendisler genellikle çalışır:

• [FONT:0] Çift ve birden fazla örnekleme planı:[Dönetici: 1) Bu, ilk kesin olup olmadığı için ikinci bir örnek almalarına izin verir. Bu aynı tüketici korumasını sürdürürken ortalama örnek boyutunu azaltabilir.
• [FONT=0]Sequential sample:[Dönetici:[Dönetici:0))) Yüksek maliyetli, düşük hacimli bir sürü (örneğin, prototip veya uzmanlık bileşikleri), her birim bir araya gelen kanıtları kabul etmek veya reddetmek için yeterli olacaktır.
• [FONT=0]Bayesian kabul örnekleme:[Dönetici: 1) Süreç veya tedarikçi hakkında bilgi sahibi olduğunda (örneğin, tarihi kusur oranları), Bayesian yöntemleri, bu bilgiyi daha verimli örnekleme kararları haline getirmek için dahil edebilir. Bu, tedarikçi verilerinin zengin olduğu gelişmiş paketlemede yol katabilir.

Tren Personeli Diligentlyly

En iyi istatistik planı bile operatörlerin ve mühendislerin prosedürleri anlamadığı konusunda işe yaramaz. Eğitim, doğru rastgele örnekleme tekniklerini kapsamalı, kirlenmeden kaçınmaları ve ölçüm ekipmanlarının uygun kullanımı için feragat etmeyi bırakmaları gerekir. Personel ayrıca risk kavramını anlamalıdır - hem de yapımcının hem de tüketicinin - bu yüzden bazı çokların “iyi bir görünüm” olsalar bile neden reddedilebilir.

Bir Katmanlı Sampling Stratejisini Kullanın

Birçok yarı iletken şirket örnekleme planlarını ürün ailesine göre, süreç olgunluğu ve risk seviyesi. Örneğin, lider bir markadaki yeni bir cihaz, ilk ay boyunca% 100 oranında örneklenebilir, istatistiksel olarak haklı bir şekilde azaltılabilir plan kapasitesinin tahsis edilmesi ve kontrol altında maliyetlerin arttırılması.

Yarı iletken Şirketler için en iyi uygulamalar

On yıl boyunca endüstri deneyimine dayanarak, aşağıdaki en iyi uygulamalar yarı iletken şirketler kabul örnekleme yoluyla sıkı toleranslar karşılamak için yardımcı olur:

• [FONT:0]Align örnekleme müşteri gereksinimleri ile: Birçok yarı iletken müşteri (özellikle otomotiv ve havacılıkta) kendi denetim kriterlerine sahiptir. tedarikçinin örnekleme planı tasarım sürecinde en az önce onaylanmış veya en az iletişimli bir şekilde iletişimlanmalıdır.
• [FONT:0)Characterize ölçüm belirsizliği:[Dönetici:[Dönetici: 0) Düzenli olarak GR&R çalışmaları ve birçok durumda belirsizlikleri içerir. Bazı firmalar bir bekçi-grup yaklaşımı kullanır: Bir ölçüm aralığı aralığı aralığı sınırlılığı aşıyorsa, çok daha fazla test için çok bayrak genişletilir.
• [FONT=0) OC eğrisini takip edin:[Döneticisel eğrinin süreç realitesine karşı periyodik olarak gözden geçirilmesi gerekir. Gerçek süreç hata oranı değiştiyse, plan artık istenen korumayı sağlayamaz.
• [FONT:0] Her şeyi garanti eder:[Dönetici) Bir düzenleme endüstrisinde denetim izleri önemlidir. Örnek sonuçları, çok fazla tasarruf ve alınan herhangi bir doğrulayıcı eylem.Bu belge ISO 9001 için kritiktir, IATF ovyum ve diğer kalite sertifikasyonları için önemlidir.
• [[Dönetici:0)Embrace dijital dönüşüm:[Dönetici platformları birden çok fabs ve montaj siteleri arasında örnekleme verileri toplayabilir. Makine öğrenme modelleri, ortaya çıkan hataları işaret edebilecek ince kalıpları tespit edebilir, proaktif örnekleme planı ayarlamaları sağlar.

Sonuç Sonuç Sonuç Sonuç Sonuç Sonuç Sonuç Sonuç

Kabul örneği yarı iletken endüstride kaliteli güvencenin bir temel taşı olarak kalır, hatta üretim fiziğin sınırlarının yaklaştığı gibi. Yöntemin gücü, istatistiksel olarak yanlış kararlar verme yeteneğinde yatıyor - modern elektronik taleplerin yüksek güvenilirliğe sahip olabilir.

Anahtar, bir standalone aktivitesi olarak kabul örneklemeyi değil, ancak gelişmiş istatistiksel yöntemlere yatırım yapan şirketler olarak, SPC, tedarikçi yönetimi ve sürekli iyileştirme içeren daha ayrıntılı bir kılavuz için, başvuru örnekleri sürekli olarak kalacaktır, ancak kabul örnekleri ile ilgili kaynaklarla ilgili olarak ) ile ilgili olarak, otomatik metroloji ve yetenekli personel, önümüzdeki on yılın kaliteli zorluklarını karşılamak için en iyi konumda olacaktır.