Вимірювання опору напівпровідників в тонко-фільтрових пристроях є важливим для розуміння своїх електричних властивостей і продуктивності. Точне визначення допомагає при оптимізації пристроїв та контролю якості.

Методи вимірювання стійкості

Кілька методів використовуються для вимірювання опору напівпровідників. До найбільш поширених методів відносяться метод чотириточкового зонування і методика двоточкового вимірювання. 4-х точок зоновий прохід зменшує контактні ефекти опору, що забезпечують більш точні результати.

Чотири-Point Метод пробе

Цей метод передбачає розміщення чотирьох однаково просторових зондів на поверхні напівпровідника. Поточний пропускають через зовнішній пробіжці, а напруга вимірюється по внутрішній промах. Стійка розрахована за допомогою вимірюваної напруги і струму, враховуючи геометрію зонда.

Розрахунок стійкості

Стійкість (R) може бути розрахована за допомогою закону Ом: R = V / I, де V є напруга, вимірюваної по всій пристрої, і я є чинним наноситься. Для тонких плівок часто використовується листорезистентність (Rs), що відноситься до опору через геометрію плівки.

Фактори, що впливають на стійкість

  • Контактна якість зондів
  • Уніформа шара напівпровідника
  • Температура при вимірюванні
  • Товщина плівки