Η κατανόηση της διάρκειας ζωής του φορέα μειοψηφίας σε πλακίδια πυριτίου είναι απαραίτητη για τη βελτιστοποίηση της απόδοσης των συσκευών ημιαγωγών.

Μέθοδος αποσύνδεσης φωτοαγώγισης

Η μέθοδος αποσύνθεσης της φωτοαγώγιμης ουσίας περιλαμβάνει τη φωτίζουσα τη σφαιροβολία πυριτίου με ελαφρύ παλμό και τη μέτρηση της αποσύνθεσης του φωτορεαρ ρεύματος που προκύπτει. Ο ρυθμός αποσύνθεσης συσχετίζεται με τη διάρκεια ζωής του φορέα μειοψηφίας. Αυτή η τεχνική χρησιμοποιείται ευρέως επειδή παρέχει γρήγορες και μη καταστρεπτικές μετρήσεις.

Φωτοφωταύγειας που έχει επιλυθεί με το χρόνο

Η διαχρονική διαλείπουσα φωτοφωταύγγεια (TRPL) μετρά τον ανασυνδυασμό των φορέων ανιχνεύοντας εκπεμπόμενο φως μετά την διέγερση. Η διάσπαση του σήματος φωτοφωταύγειας υποδεικνύει τη διάρκεια ζωής των μειονοτικών φορέων. Η TRPL προσφέρει υψηλή χωρική ανάλυση και είναι κατάλληλη για λεπτά πλακίδια ή τοπικές περιοχές.

Τεχνική φωτοαγωγιμότητας μικροκυμάτων

Αυτή η τεχνική χρησιμοποιεί σήματα μικροκυμάτων για να ανιχνεύσει αλλαγές στην αγωγιμότητα του wafer πυριτίου μετά από οπτική διέγερση. Παρέχει ασύνετη μέτρηση της διάρκειας ζωής φορέα μειοψηφίας και είναι χρήσιμη για τα πλακίδια με σύνθετες γεωμετρίες.

Συμπληρωματικές παρατηρήσεις

Παράγοντες όπως ο ανασυνδυασμός επιφάνειας, τα επίπεδα ντόπινγκ και η καθαρότητα των πλακιδίων επηρεάζουν τη μετρούμενη διάρκεια ζωής.