Η μέτρηση της αντίστασης των στρωμάτων ημιαγωγών σε συσκευές λεπτού φιλμ είναι απαραίτητη για την κατανόηση των ηλεκτρικών ιδιοτήτων και των επιδόσεων τους.

Μέθοδοι μέτρησης αντοχής

Οι πιο κοινές μέθοδοι περιλαμβάνουν τη μέθοδο τεσσάρων σημείων και την τεχνική μέτρησης δύο σημείων. Ο ανιχνευτής τεσσάρων σημείων μειώνει τα αποτελέσματα αντίστασης επαφής, παρέχοντας πιο ακριβή αποτελέσματα.

Μέθοδος τεσσάρων σημείων

Η μέθοδος αυτή περιλαμβάνει την τοποθέτηση τεσσάρων ισοδιαστημάτων καθετήρων στην επιφάνεια του ημιαγωγού. Ένα ρεύμα περνά από τους εξωτερικούς καθετήρες, και η τάση μετριέται σε όλους τους εσωτερικούς καθετήρες.

Υπολογισμός της Αντίστασης

Η αντίσταση (R) μπορεί να υπολογιστεί με βάση το νόμο του Ohm: R = V / I, όπου V είναι η τάση που μετράται σε όλη τη συσκευή, και εγώ είναι το ρεύμα που εφαρμόζεται. Για λεπτές ταινίες, χρησιμοποιείται συχνά η αντίσταση φύλλων (Rs), η οποία σχετίζεται με την αντίσταση μέσω της γεωμετρίας του φιλμ.

Παράγοντες που επηρεάζουν τη μέτρηση αντοχής

  • Ποιότητα επαφής των ανιχνευτών
  • Ομοιότητα του στρώματος ημιαγωγών
  • Θερμοκρασία κατά τη μέτρηση
  • Πάχος της ταινίας