Table of Contents
Η σχεδίαση αυτών των τρανζίστορ περιλαμβάνει ακριβείς υπολογισμούς και προσεκτική εξέταση των ιδιοτήτων του υλικού και της δομής της συσκευής για την επίτευξη της επιθυμητής τάσης κατωφλίου.
Κατανόηση Κατώτερη Τάση
Η τάση κατωφλίου (Vth]) είναι η ελάχιστη τάση πύλης προς πηγή που απαιτείται για τη δημιουργία αγώγιμου καναλιού μεταξύ της διαρροής και της πηγής. Εξαρτάται από παράγοντες όπως τα επίπεδα ντόπινγκ, το πάχος του οξειδίου και τη γεωμετρία της συσκευής.
Υπολογισμός της τάσης χαμηλού όγκου
Η αριθμητική Vth περιλαμβάνει την εξέταση της τάσης επίπεδης ζώνης, του δυναμικού Fermi και του φορτίου στο οξείδιο και τον ημιαγωγό. Η απλοποιημένη εξίσωση είναι:
Vth = V[FB[ + 2fF + (Q]dep[ / C]ox]
Όπου VFB είναι η τάση επίπεδης ζώνης, φF είναι το δυναμικό Fermi, Qdep] είναι το φορτίο μείωσης και Cox είναι η χωρητικότητα οξειδίου. Η ρύθμιση των επιπέδων ντοπαμίνης και του πάχους οξειδίου μπορεί να μειώσει Vth].
Πρακτικές Προβολές
Ο σχεδιασμός των MOSFET χαμηλού επιπέδου απαιτεί ισορροπία μεταξύ των χαμηλών V[[0]]]th[] και της σταθερότητας των συσκευών.
Οι ανοχές κατασκευής, οι επιπτώσεις στη θερμοκρασία και οι διακυμάνσεις της διαδικασίας είναι επίσης επιδόσεις της συσκευής πρόσκρουσης.
Βασικές συμβουλές σχεδιασμού
- Χρησιμοποιήστε ελαφρά ντοπαρισμένο υποστρώματα για να μειώσετε το V[th.
- Ελαχιστοποιήστε το πάχος του οξειδίου διατηρώντας παράλληλα την αξιοπιστία.
- Βελτιστοποιήστε τα προφίλ ντόπινγκ για ομοιομορφία.
- Εφαρμογή ρωμαλέων διαδικασιών κατασκευής για τον έλεγχο των διακυμάνσεων.