اندازه گیری خواص دی الکتریک مواد نیمه هادی برای درک رفتار الکتریکی و قابلیت مناسب برای برنامه های مختلف الکترونیکی ضروری است. تکنیک های اندازه گیری دقیق به شناسایی مواد و بهینه سازی عملکرد دستگاه کمک می کند.

تکنیک های اندازه گیری مشترک

روش های متعددی برای تعیین ثابت دی الکتریک و از دست دادن مواد نیمه هادی استفاده می شود.این تکنیک ها بر اساس محدوده فرکانس، فرم نمونه و دقت مورد نیاز متفاوت است.

روش خازن-Voltage Method

این روش شامل اندازه گیری خازن یک ساختار فلزی-oxide-semior (MOS) تحت سوگیری های ولتاژ مختلف است.این اطلاعات در مورد حالت ثابت و رابط دی الکتریک را فراهم می کند.

● Spectroscopy

طیفوسکوپی مداخله، عدم تعادل پیچیده یک ماده را در طیف وسیعی از فرکانس ها اندازه گیری می کند.این به تجزیه و تحلیل فرآیندهای آرامش بخش دی الکتریک و مکانیسم های از دست دادن کمک می کند.

تکنیک های Diالکتریک Resonance

این روش ها از حفره های رزانانت یا رزوناتورهای دی الکتریک برای تعیین خواص دی الکتریک در فرکانس های مایکروویو استفاده می کنند و دقت بالایی دارند و برای فیلم های نازک و مواد عمده مناسب هستند.

نمونه های آماده سازی و اندازه گیری

  • اطمینان حاصل کنید که نمونه ها تمیز و آزاد از آلودگی هستند.
  • از مواد مناسب الکترود برای به حداقل رساندن مقاومت تماس استفاده کنید.
  • حفظ شرایط دمای ثابت در طول اندازه گیری.
  • ابزارهای کالیبره به طور منظم برای نتایج دقیق