Table of Contents
حالت های رابط در دستگاه های نیمه هادی می توانند بر عملکرد و قابلیت اطمینان تأثیر بگذارند. مینییزه کردن این حالت ها برای بهبود کارایی دستگاه و طول عمر ضروری است. چندین روش عملی در صنعت برای حل این مسئله به طور موثر مورد استفاده قرار می گیرد.
تکنیک های Passivation
passivation شامل پوشش سطح نیمه هادی با مواد است که پیوندهای دمینگ و حالت های تله را کاهش می دهد. لایه های passivation مشترک شامل نیتید سیلیکون، دی سیلیکون و سایر مواد دی الکتریک است.این لایه ها به تثبیت سطح و جلوگیری از تشکیل حالت های رابط کمک می کنند.
بهینه سازی فرآیندهای پارچه سازی
کنترل پارامترهای ساخت مانند دما، اتمسفر محیط محیط زیست و روش های تمیز کردن می تواند به طور قابل توجهی حالت های رابط را کاهش دهد، به عنوان مثال، لینگ با درجه حرارت بالا در اتمسفر بی اثر می تواند نقص های سطح را تعمیر کند و کیفیت رابط را بهبود بخشد.
انتخاب مواد و آمادگی سطح
انتخاب مواد مناسب و آماده سازی سطوح قبل از ساخت دستگاه گام های مهمی است.استفاده از بسترهای با کیفیت بالا و اطمینان از سطوح تمیز و بدون نقص قبل از لایه سازی احتمال حالت های رابط را کاهش می دهد. تکنیک هایی مانند تمیز کردن شیمیایی و درمان های پلاسما اغلب برای آماده سازی سطوح به طور موثر استفاده می شوند.
استراتژی های اضافی
- [[۱] استفاده از مواد شیمیایی دفع کننده[۱۰] [۱۰] برای خنثی کردن پیوندهای دمینگ [۱]
- [[۱] [۱۰] [۱] [۱۰] [۱] [۱]] برای جلوگیری از شکل گیری [۳]
- مهندسی رابط کاربری [FLT 1] تکنیک های اصلاح خواص رابط کاربری.
- ایجاد شخصیت های پیشرفته [FLT 1] [FLT 1] روش های شناسایی و آدرس منابع نقص.