Table of Contents
طول تزریق پارامترهای حیاتی در تولید نیمه هادی است که بر عملکرد دستگاه و قابلیت اطمینان تأثیر می گذارد.مدل سازی دقیق و حل این طول ها به بهینه سازی فرآیندهای ساخت و بهبود ویژگی های دستگاه کمک می کند.
درک طول های Diffusion
طول تزریق به فاصله متوسط یک ذره اشاره دارد، مانند یک اتم ناپایدار، قبل از اینکه آن را دستگیر یا به صورت نیمه هادی ها جذب کنید، این اندازه گیری بر پروفایل ها و عمق اتصال تاثیر می گذارد.
مدل سازی ریاضی
مدل ها معمولا شامل حل معادله انتشار هستند که نشان می دهد که چگونه غلظت های خستگی در طول زمان و فضا تغییر می کند.
[[ویرایش] [۱] [۲] [۲] [۲] [۲] [۲]] [۲] [۲] [۲] [۲] [۲] [۲] [۲] [۳] [۱] [۱] [۲] [۲] [۲] [۲] [۲] [۱] [۱] [۱] [۱] [۱] [۱] [۲] [۲] [۳] [۲] [۲] [۲] [۲] [۲] [۲] [۲] [۲] [۲] [۲] [۲] [۲] [۲] [۲] [۲] [۲] [۲] [۲] [۲] [۲] [۲] [۲] [۲] [۲] [۲] [۲] [۲] [۲] [۲] [۲] [۲] [۲] [۲] [۲] [۲] [۲] [۳] [۳] [۳] [۱] [۲] [۱] [۳] [۳] [۳] [۲] [۲] [۲] [۳] [۲] [۲] [۲] [۲] [۲
در جایی که تمرکز است، ضریب انتشار است و عملگر لاکتی است.
حل کردن طول های Diffusion
در این میان، می توان از این طریق به صورت زیر استفاده کرد:
[[ویرایش] [۱]
در آن جا که میانگین عمر گونه های پراکنده است، با دانستن و مهندسان می توانند پیش بینی کنند که چگونه ناخالصی ها در طول پردازش گسترش می یابد.
برنامه های کاربردی عملی
مدل سازی طول انتشار کمک می کند تا در طراحی فرآیندهای دوپینگ، کنترل عمق اتصال و به حداقل رساندن نقص ها کمک کند.این باعث می شود مهندسان فرآیند درمان های حرارتی و پروفایل های خستگی برای عملکرد بهتر دستگاه را بهینه کنند.