光子の結晶構造は、光の流れを制御することができる屈折率の周期的な変化の材料です。これらの構造を製作することは、正確な技術を必要とし、その特徴は適切な機能を確実にするために不可欠です。このガイドは、フォトニック結晶を作成および分析するための実用的な方法の概要を提供します。

製作技術

さまざまな用途やスケールに適したフォトニック結晶構造を製作するために、いくつかの方法が使用されています。 一般的な技術には、リソグラフィ、エッチング、および自己アセンブリが含まれます。

電子ビーム リンソグラフィ

ナノスケールパターンをつくり出すための高精度な手法です。 集中型電子ビームを使用してパターンをレジストコート基板に書き込むことで、エッチングを繰り返しパターンを移すことが可能です。

撮影と反応イオンエッチング

光線写真は、UV光をパターンフォトレジストレイヤーに使用し、目的の構造を形成するために開発されエッチングされます。反応イオンエッチング(RIE)は、高アスペクト比機能のための異方性エッチングを提供します。

キャラクター化方法

光子結晶構造の品質を評価するには、光学的および構造的特徴化技術が含まれます。これらの方法は、周期性、欠陥レベル、光学的特性を検証します。

スキャン電子顕微鏡(SEM)

SEMは表面の形態学の詳しいイメージを提供し、特徴のサイズの測定および製作の欠陥の検出を可能にします。

光学分光法

光分光法は、光子バンドギャップを特定し、光子の光学動作確認のために、伝送および反射スペクトルを測定します。

インフォメーション

光学および電子顕微鏡検査による高度なリソグラフィ方式を組み合わせることで、さまざまな用途に適した高品質の構造を実現しています。