圧力センサは、表面に適用される力を検出し、測定する装置です。その感度は、圧力の小さな変化を検出できるかを正確に決定します。この感度を最適化することで、材料や構造設計の検討の慎重な選択が伴います。

素材選定

素材の選択は、センサー感度に大きく影響します。高い弾力性と低ヒステリシスの材料が好まれています。一般的なオプションには、シリコン、ピエゾリシスの材料、およびフレキシブルポリマーが含まれます。これらの材料は、圧力変化により正確に反応し、センサー性能を向上させることができます。

また、温度変化の変動による材料の耐久性と安定性が重要である。安定した材料は、センサーの安定した読み出しと長期的信頼性を保証します。

構造的検討

圧力センサーの構造設計は、その感度に影響を及ぼします。薄膜またはダイヤフラムは、圧力変化に反応する傾向があります。これらのコンポーネントの幾何学と厚さは、目的の感度範囲のために最適化する必要があります。

マイクロ構造やパタリングを組み込むことで、特定の領域のストレスを集中させることで感度を向上させることができます。 適切な構造的なサポートにより、測定エラーにつながる可能性がある変形を防ぐことができます。

追加工場

  • 校正精度
  • 環境条件
  • 電気騒音低減
  • 物質的な両立性