Spectroscopy는 반도체 재료의 특성을 분석하는 데 중요한 기술입니다. 반도체 장비 개발 및 최적화에 필수적인 구성, 전자 구조 및 결함으로 통찰력을 제공합니다.

반도체 분석에 사용되는 Spectroscopy의 종류

반도체를 특성화하기 위해 여러 분광법이 채택되어 각 제품마다 고유한 정보를 제공합니다. 일반적인 기술은 광흡광 분광, 광경광 분광기, 라만 분광기 및 라만 분광기 등이 포함됩니다.

Spectroscopic Characterization의 실제 단계

반도체 재료에 대한 분광 검사를 수행하려면, 샘플은 깨끗하고 평평한 표면을 보장하기 위해 준비됩니다. 장비는 측정되고 측정은 통제 된 조건 하에서 촬영됩니다. 데이터 분석은 불순, 결함 또는 Bandgap 에너지와 관련된 스펙트럼 기능을 식별합니다.

일반적인 분광기 기능 및 그들의 의미

주요 스펙트럼 기능은 흡수 가장자리, 방출 첨단 및 진동 형태를 포함합니다. 이 특징은 물자 순수성, 결정 질 및 전자 재산을 결정합니다. 예를 들면, 흡수 가장자리에 있는 교대는 투약 또는 긴장 때문에 bandgap 에너지에서 변화 나타냅니다.

  • 샘플 준비
  • 계측기
  • 데이터 해석
  • 참고 spectra와 비교