Table of Contents
- 연혁
이 문서는 현재 사용 중인 제품 및 서비스 제공업체의 제품 및 서비스 제공업체의 제품 및 서비스 제공업체의 제품 및 서비스 제공업체의 제품 및 서비스 제공업체의 제품 및 서비스 제공업체의 제품 및 서비스 제공업체의 제품 및 서비스 제공업체의 제품 및 서비스 제공업체의 제품 및 서비스 제공업체의 제품 및 서비스 제공업체의 제품 및 서비스 제공업체의 제품 및 서비스 제공업체의 제품 및 서비스 제공업체의 제품 및 서비스 제공업체의 제품 및 서비스 제공업체의 제품 및 서비스 제공업체의 제품 및 서비스 제공업체의 제품 및 서비스 제공업체의 제품 및 서비스 제공업체의 제품 및 서비스 제공업체에 대한 정보를 제공합니다.
금속 벨로우즈 커플링이란?
금속 배는 결합을 2개의 갱구 또는 플랜지를 연결하는 1개 또는 더 복잡한 금속 배를 이루어져 있습니다. 배는 일반적으로 얇은 벽 스테인리스 또는 니켈 합금에게서 만들어, 탄력 있는 개악을 허용하는 일련의 접으로 형성됩니다. 이 디자인은 연결이 축, 옆 및 angular misalignments를 흡수하기 위하여 가능하게 합니다. 진공 체계에서는, 배는 가동 가능한 장벽으로, 격리하고 외부 진공 청소기로 청소하는 것은 다른 진공 청소기로 청소하는 다른 진공 기구에 외부 압력의 외부 압력 없이 외부 환경에 영향을 미칠 수 있습니다.
세부사항에 있는 중요한 이점
Misalignment를 위한 높은 융통성 그리고 보상
금속 벨로우즈 커플링의 주요 장점 중 하나는 연결 구성 요소에 과도한 힘 전달 없이 미분을 수용할 수 있는 능력입니다. 축 방향 조정 (축 끝 놀이), 옆 정렬 (패럴 오프셋) 및 각도 정렬 (각각 편차)는 모두 벨로우즈의 복잡한 변형에 의해 흡수 될 수 있습니다. 이 유연성은 베어링, 물개 및 기타 민감한 부품에 스트레스를 줄이고 전반적인 시스템 수명을 연장합니다. 예를 들어, 진공 챔버에 대한 확장, 기계식 및 결합을 위한 열팽창식 작업, 기계식 및 기계식 작업에 대한 유연성을 높일 수 있습니다.
우수한 진공 Integrity
금속 배설물은 10] -9] torr 또는 더 낮은 진공 수준을 유지하기 위해 필수적 인 신비한 물개를 제공합니다. 배설물은 일반적으로 용접되거나 flanges 또는 end 조각에 놋쇠로 만들어 누출 단단한 합동을 창조합니다. elastomeric 물개와는 달리, 금속 배설물은 이온화 방사선, 고열, 또는 공격적인 밑에 degrade하지 않습니다. 그들의 모든 금속 배설물은, 이 초음파 입자가 선호한 입자를 위해, 이 입자를 위해 선호한 입자를 극소화하는 것을 선호하는 UVBROWOR를 위해, 선호됩니다.
내구성 및 신뢰성
이 제품은 주로 금속, 금속, 금속, 금속, 금속, 금속, 금속, 금속, 금속, 금속, 금속, 금속, 금속, 금속, 금속, 금속, 금속, 금속, 금속, 금속, 금속, 금속, 금속, 금속, 금속, 금속, 금속, 금속, 금속, 금속, 금속, 금속, 금속, 금속, 금속, 금속, 금속, 금속, 금속, 금속, 금속, 금속, 금속, 금속, 금속, 금속, 금속, 금속, 금속, 금속, 금속, 금속, 금속, 금속, 금속, 금속, 금속, 금속, 금속, 금속, 금속, 금속, 금속, 금속, 금속, 금속, 금속, 금속, 금속, 금속, 금속, 금속, 금속, 금속, 금속, 금속, 금속, 금속, 금속, 금속, 금속, 금속, 금속, 금속, 금속, 금속, 금속, 금속, 금속, 금속, 금속, 금속, 금속, 금속, 금속, 금속, 금속, 금속, 금속, 금속, 금속, 금속, 금속, 금속, 금속, 금속, 금속, 금속, 금속, 금속, 금속, 금속, 금속, 금속, 금속, 금속, 금속, 금속, 금속, 금속, 금속, 금속, 금속, 금속, 금속, 금속, 금속
미니멀 아웃 가스
이 속성은 UHV 시스템의 주요 관심사 인 재료에서 갇힌 가스의 방출입니다. 금속 벨로우즈 커플링은 304L 또는 316L 스테인레스 스틸과 같은 깨끗하고 진공 굽은 금속으로 제작되었으며, 매우 낮은 가스 비율을 전시합니다. 표면 처리는 더 미세 포스 및 오염 물질을 감소시킵니다. 이 속성은 UHV 범위의 기본 압력을 달성하고 가스 간섭으로부터 민감한 실험을 보호하기위한 핵심적인 실험을 위해 필수적입니다.
설치 및 유지 보수의 용이성
이 제품은 주로 금속, 금속, 금속, 비금속, 금속, 비금속, 금속, 금속, 금속, 금속, 금속, 금속, 금속, 금속, 금속, 금속, 금속, 금속, 금속, 금속, 금속, 금속, 금속, 금속, 금속, 금속, 금속, 금속, 금속, 금속, 금속, 금속, 금속, 금속, 금속, 금속, 금속, 금속, 금속, 금속, 금속, 금속, 금속, 금속, 금속, 금속, 금속, 금속, 금속, 금속, 금속, 금속, 금속, 금속, 금속, 금속, 금속, 금속, 금속, 금속, 금속, 금속, 금속, 금속, 금속, 금속, 금속, 금속, 금속, 금속, 금속, 금속, 금속, 금속, 금속, 금속, 금속, 금속, 금속, 금속, 금속, 금속, 금속, 금속, 금속, 금속, 금속, 금속, 금속, 금속, 금속, 금속, 금속, 금속, 금속, 금속, 금속, 금속, 금속, 금속, 금속, 금속, 금속, 금속, 금속, 금속, 금속, 금속, 금속, 금속, 금속, 금속, 금속, 금속, 금속, 금속, 금속, 금속, 금속, 금속, 금속, 금속, 금속, 금속, 금속, 금속
물자와 디자인 고려
의 선택은 의 작동 환경에 따라 달라집니다. ]스테인리스 스틸 (304L, 316L) 은 일반적으로 진공 및 UHV 응용 프로그램에 대한 일반적인 그것의 내식성, 용접성 및 낮은 발기 때문에. Nickel 합금 (예 : Inconel 718, Hastelloy) 은 고가열 또는 화학적 조건에서 사용되지만 ] 은 우수한 내열성 및 내열성, 내열성, 내열성, 내열성, 내열성, 내열성, 내열성, 내열성, 내열성, 내열성, 내열성, 내열성, 내열성, 내열성, 내열성, 내열성, 내열성, 내열성, 내열성, 내열성, 내열성, 내열성, 내열성, 내열성, 내열성, 내열성, 내열성, 내열성, 내열성, 내열성, 내열성, 내열성, 내열성, 내열성, 내열
특히, 수많은 수많은 펄로 벽 두께, 복잡한 수, 외부 직경은 특정 토크 및 미분화 요구 사항에 맞게 조정됩니다. 두꺼운 벽은 높은 토크 용량을 제공하지만 유연성을 감소시킵니다. 복잡한 피치와 모양 - 갑상선 또는 U 모양의 - affect 봄 속도 및 스트로크 길이. finite 요소 분석 (FEA)은 종종 피로 수명을 최적화하기 위해 고용됩니다. 진공 사용의 경우, 모든 벨로우는 전체 침투로 용접되거나 흠집되어야합니다. LT는 기술적인 볼륨을 피할 수 있습니다. [H] [H]] [H]] [H]] [H]]] [H]]]] [H]]]]] [H]]]]]]] [H]]] [H]]]] [H]] [H] [H]]] [H] [H]] [H] [H]] [H] [[[[[[[]]]]]]]]]]]]]]]]]]]]]]]]]]] [[[[[[[[[[[[[[]]]]]]]]
진공 및 UHV 시스템의 선택 표준
진공 서비스를 위한 금속 벨로우즈 연결 선택시, 엔지니어는 몇몇 요인을 고려해야 합니다:
- 진공 수준: <10] -7] 1×10] -10]] -10] --cc/s 그. UHV-apeque 자료 및 청소 절차는 필수입니다.
- 온도 범위: 금속 배는 적합한 합금을 가진 600°C까지 극저온 온도 (-270°C)에서 작동할 수 있습니다. 연결의 물자를 지킵니다 열 주기.
- Misalignment Requirements: 시스템의 공차와 열팽창에 근거한 최대 허용가능한 축, 측면 및 각 진지변환을 계산합니다. 충분한 치기 및 융통성을 가진 벨로우를 선택하십시오.
- Torque and Speed: 커플링은 정격 용량을 초과하지 않고 필요한 토크를 전송해야 합니다. 회전 응용을 위해, 벨로우즈의 공명을 방지하기 위해 중요한 속도를 고려하십시오.
- 환경 노출:] 연결이 민감하는 가스, 방사선, 또는 미립자에 노출되면, 합금과 표면 마감을 따르십시오. Kurt J. Lesker Company]는 다양한 진공 환경에 적합한 재료와 함께 붕소의 종합적인 선택을 제공합니다.
제품 설명
과학 연구 장비
입자 가속기, synchrotrons 및 전기 현미경은 열과 기계적인 운동을 수용하는 동안 진공 약실과 광속 선을 연결하는 금속 배기구에 의지합니다. 예를 들면, 선형 가속기에서, 배기구는 자기 힘 및 온도 변화에 기인한 줄화 편류를 위해, 광속 질을 보존합니다.
반도체 제조
웨이퍼 제작 도구에서 금속 벨로우즈 커플링은 로드 잠금, 전송 팔 및 기타 챔버에서 사용됩니다. 그들은 진공을 깨지 않고 웨이퍼의 정확한 모션 제어를 가능하게합니다. 마모 또는 발진으로부터 입자 발생의 부재는 클린 룸 표준을 유지하기위한 중요한 것입니다.
공간 시뮬레이션 및 테스트
진공 챔버는 펌프, 게이지 및 뷰포트를 연결하는 공간 환경 사용을 확대하는 벨로우즈를 시뮬레이션합니다. 커플링은 열 진공 테스트의 반복 사이클을 견딜 수 있으며 터보 분자 펌프에서 분리 진동을 돕습니다.
분석 장비
질량 분광계, 가스 크로마토그래프 및 분광 광도계는 진공 시스템과 인터페이스에 벨로우즈 커플링을 통합합니다. 낮은 발열 및 높은 신뢰성 지원 정확한 측정 및 긴 계기 수명.
산업용 진공 가공
야금술로, 코팅 체계 및 동결 건조 장비에서는, 금속 배는 고열과 압력 차동을 허용하는 가동 가능한 연결을 제공합니다. 그들은 벨브 액추에이터 및 동의 Feedthroughs에서 자주 고용됩니다.
설치 및 유지 보수 모범 사례
Proper 설치는 최적의 성능과 긴 수명을 보장합니다. 이러한 지침을 따르십시오.
- 청소:청소 장갑을 가진 손잡이 배우. 용제 세척 성분을 사용 하 고 밀봉 표면을 터치 방지. UHV에 대 한, 조립 전에 진공에서 250°C에 모든 부품을 굽는다.
- 분해: shims 또는 조절 가능한 마운트를 사용하여 잔여 미분해를 최소화합니다. 배설을 하도록 하면서 과도한 탈선은 피로를 완화합니다.
- Leak Checking: 설치 후, 모든 용접 및 플랜지에 헬륨 누출 테스트를 수행합니다. <1×10] -10]]의 패스/파일 크리터링입니다. cc/s는 UHV의 표준입니다.
- Cycle Life Management: 빈번한 모션을 가진 체계에 있는 배설 주기의 수를 기록합니다. 제조업체 개정된 피로 생활 도달 후에 배설물을 대체하십시오 (일반적으로 10]] 5]] – 106 주기).
- 검사: 주기적으로 균열, 변색, 또는 영구 변형을 위한 배우를 검사합니다. confined space에 대한 보어스코프를 사용하십시오.
다른 커플 링 유형에 금속 벨로우즈 커플링
elastomeric bellows 및 Rigid Couplings는 그들의 장소, 금속 bellows는 진공과 UHV 컨텍스트에 있는 명백한 이점을 제안합니다. Elastomeric bellows (예: 고무 또는 실리콘)는 더 비싸지 만, outgassing, permeation 및 한정된 온도 편차에서 고통합니다. 그들은 UHV를 위해 unsuitable 입니다. 엄밀한 연결 (질되거나 열쇠가 붙은)는 방위에 높은 짐에 지도하고 밀봉하는 misalignment를 수용할 수 없습니다. (LTLTS)는 다른 사람의 사이에서 요구한 융통성을 가진 흠을 내릴 수 있습니다. [F]
관련 기사
금속 벨로우즈 커플링은 진공 및 초고 진공 시스템의 성능과 신뢰성을 향상시키는 중요한 구성 요소입니다. 이러한 기능을 수용하기 위해, 진공 무결성을 유지하고, 까다로운 조건을 견딜 수 있으며, 고급 기술 응용 분야에 대한 비유적 선택이 있습니다. 진공 기술은 지속적으로 진화하고, 고품질 금속 벨로우즈의 역할은 시스템 효율과 수명을 보장하는 것이 더 중요합니다. 재료 특성, 디자인 매개 변수 및 응용 요구 사항을 이해함으로써, 시스템 디자이너는 최적의 처리 환경을 선택할 수 있습니다.