Memukur ketahanan lapisan semikonduktor dalam perangkat hin-film sangat penting untuk memahami sifat dan kinerja listrik mereka. penentuan akurat membantu dalam optimasi perangkat dan kontrol kualitas.

Metode untuk Mengukur Perlawanan

Beberapa teknik jargon digunakan untuk mengukur ketahanan lapisan semikonduktor. Metode yang paling umum termasuk metode empat titik probe dan teknik pengukuran dua titik.Kuar empat titik mengurangi efek resistensi kontak, memberikan hasil yang lebih akurat.

Metode Probe Empat Titik

Metode ini melibatkan menempatkan empat probe yang tidak sama ruang pada permukaan semikonduktor.Sesuatu arus dilewatkan melalui probe luar, dan tegangan diukur melintasi probe dalam.Penentangan dihitung menggunakan tegangan yang diukur dan arus, mempertimbangkan geometri probe.

Mengira-kira Perlawanan

Afendosis resistensi (R) dapat dihitung menggunakan hukum Ohm: R = V / I, di mana V adalah tegangan yang diukur di seluruh perangkat, dan I adalah yang diterapkan saat ini. Untuk film tipis, resensi lembaran (Rs) sering digunakan, yang berkaitan dengan perlawanan melalui geometri film.

Faktor - Faktor yang Mempengaruhi Pengukuran Perlawanan

  • Kualitas probe yang tidak sesuai
  • Keragaman lapisan semikonduktor
  • Suhu selama pengukuran
  • Ketebalan film