Hiểu được hồ sơ về máy tính là thiết yếu để tối ưu hóa hiệu suất của các thiết bị bán dẫn. Phân tích chính xác giúp kiểm soát tính năng điện và bảo đảm tính đáng tin cậy của thiết bị. Một số phương pháp thực tiễn được dùng để đánh giá phân phối doping trong vật liệu bán dẫn.

Kỹ thuật để phân tích hồ sơ Doping

Các kỹ thuật khác nhau có thể phân tích hồ sơ doping, mỗi cách có lợi và giới hạn. Phương pháp thông thường bao gồm phương pháp quang phổ đại số cấp hai (SIMS), khả năng chống phân tích (SRP), và đo điện hóa-tọa (EV).

Hình ảnh vật lý học thứ hai (SIMS)

SIMS là một kỹ thuật rất nhạy cảm cung cấp hồ sơ thành phần chi tiết, bao gồm việc tạo ra tia điện tử chính và phân tích các điểm phụ.

Kháng chiến lan rộng (SRP)

SRP đo lường khả năng kháng cự qua mẫu bán dẫn để giảm nồng độ phân giải. nó bao gồm việc nhấn vào một máy dò chống lại bề mặt mẫu và ghi lại những thay đổi dưới độ sâu.

Phương pháp hóa điện tử-Voltage (ECV)

Phân tích điện tử sử dụng kỹ thuật điện hóa để xác định mức độ làm việc, bao gồm việc hình thành lớp phân hủy và đo lường điện áp như một chức năng điện áp. ECV là thích hợp cho hồ sơ làm việc nông và cung cấp dữ liệu định lượng tốt.

  • SIMS
  • Kháng chiến lan rộng (SRP)
  • Điện hóa- tử học (ECV)
  • Đo hiệu ứng của phòng họp
  • Điện hóa- tử học (ECV)