Xác định được khả năng kháng cự của các lớp bán dẫn trong thiết bị điện mỏng là thiết yếu để hiểu được tính chất và hiệu quả điện của chúng.

Phương pháp để chống cự

Một số kỹ thuật được dùng để đo lường khả năng kháng cự của lớp bán dẫn. phương pháp thông thường nhất bao gồm phương pháp thăm dò bốn điểm và kỹ thuật hai điểm.

Phương pháp tương ứng bốn điểm

Phương pháp này bao gồm đặt bốn vệ tinh không gian trên bề mặt bán dẫn. và điện áp được đo qua các vệ tinh thăm dò bên trong.

Tính toán chống đối

Kháng chiến (R) có thể tính được sử dụng định luật Ohm: R = V / I, nơi V là điện áp được đo qua thiết bị, và tôi là hiện thời áp dụng cho các bộ phim mỏng. các bảng kháng cự (Rs) thường được sử dụng, liên quan đến sự kháng cự thông qua hình học của bộ phim.

Các yếu tố ảnh hưởng đến sự chống cự

  • Liên lạc chất lượng thăm dò
  • Đồng bộ hoá lớp bán dẫn
  • Nhiệt độ trong khi đo
  • Sự dày đặc của bộ phim