Việc xác định tính chất điện tử của vật liệu bán dẫn là thiết yếu để hiểu hành vi điện tử và khả năng thích hợp cho các ứng dụng điện tử khác nhau. Kỹ thuật đo lường chính xác giúp nhân cách hóa vật liệu và hiệu suất tối ưu thiết bị.

Công nghệ đo lường thông thường

Một số phương pháp được dùng để xác định hằng số điện năng và sự mất tích của vật liệu bán dẫn. Những kỹ thuật này dựa trên tần số, dạng mẫu và độ chính xác cần thiết.

Phương pháp quản lý-Voltage

Phương pháp này bao gồm đo lường tính chính của một cấu trúc dẫn điện kim loại-xide-semicor (MOS) dưới các thành kiến điện áp khác nhau.

Kính thiên văn co giật

Các quang phổ không tải được đo lường sự bất lợi phức tạp của vật liệu qua một loạt tần số, giúp phân tích các quá trình thư giãn điện tử và cơ chế mất mát.

Công nghệ quang điện di động

Những phương pháp này được dùng để cộng hưởng từ các lỗ hổng điện hoặc bộ phận điện tích để xác định tính chất điện từ ở tần số vi sóng, và cho thấy độ chính xác cao và thích hợp với các bộ phim mỏng và các vật liệu lớn.

Chuẩn bị mẫu và tính tiền bo

  • Mẫu thử nghiệm chắc chắn không có ô nhiễm.
  • Dùng vật liệu điện tử thích hợp để giảm thiểu sự kháng cự.
  • Giữ nhiệt độ ổn định trong khi đo đạc.
  • Các dụng cụ cân chỉnh thường xuyên để đạt kết quả chính xác.